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Canon 半导体光刻机FPA-6300ES6a系列 FPA-6300ES6a KrF光刻机用于大规模生产动态随机存取存储器（DRAM）、闪存和其他存储设备、逻辑器件如个人计算机用微处理器、 |
2024-12-09 |
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Canon 半导体光刻机FPA-5550iZ2系列 佳能新型i线步进式光刻机FPA-5550iZ2具备了高产能和Mix-and-Match OVL性能。FPA-5550iZ2设备搭载了Shot Shape Compensator ( |
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Canon 半导体光刻机FPA-5520iV 系列 在原*2011年7月发布的FPA-5510iV基础上，佳能新推出了提供更高解析度以及高叠加精度的FPA-5520iV i线步进式光刻机。新型FPA- |
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Canon 半导体光刻机FPA-3030EX6系列 佳能新推出的FPA-3030EX6 KrF光刻机，支持模拟芯片制造，应用于物联网和Power Device的传感器和通信设备。FPA-3030EX6继承上 |
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