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Canon 半导体光刻机FPA-5520iV 系列
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产品: 浏览次数:74Canon 半导体光刻机FPA-5520iV 系列 
品牌: 中国Canon
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最后更新: 2024-12-09 22:58
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详细信息
   在原*2011年7月发布的FPA-5510iV基础上,佳能新推出了提供更高解析度以及高叠加精度的FPA-5520iV i线步进式光刻机。新型FPA-5520iV光刻机提供的改进功能,可以实现提高生产力所需的例如晶圆*封装技术(FOWLP)以及通过更高集成度和更薄封装,从而降低半导体器件的生产成本。
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