Canon 半导体光刻机FPA-5550iZ2系列_供应产品

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经营范围：Canon半导体光刻机、Canon真空泵、Canon编码器

主营行业：

所在地区：中国

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Canon 半导体光刻机FPA-5550iZ2系列

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详细信息

　　佳能新型i线步进式光刻机FPA-5550iZ2具备了高产能和Mix-and-Match OVL性能。FPA-5550iZ2设备搭载了Shot Shape Compensator (SSC) 镜头单元，能够改善曝光区域内Shot的纵横倍率差以及镜头的失真形变。

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